AUTOMATIC MATCHING NETWORK – GGK-AM1

l dispositivo denominato “Auto Matching Unit GGK‑AM1” è una rete di adattamento progettato e costruito per funzionare con generatori a Radio Frequenza (RF) a 13,56 MHz in applicazioni di trattamento a plasma.

Tale dispositivo trasforma la impedenza complessa di un plasma in una impedenza puramente resistiva a 50 Ω. Questa operazione favorisce la condizione di massimo trasferimento.

Il circuito di adattamento è costituito da una rete di tipo “L” (ma si può anche scegliere una configurazione di tipo “T”) che comprende un induttore fisso e una coppia di capacitori variabili in aria. La posizione dei capacitori viene controllata per mezzo di motori di posizionamento.

Durante il funzionamento, occorre fornire i comandi attraverso il connettore posto sul pannello frontale.

Le reti di adattamento della serie GGK‑AM1 prevedono i tre metodi di funzionamento di seguito elencati:

Funzionamento Manuale, in cui la posizione dei condensatori è funzione di un comando esterno
Funzionamento Automatico, in cui la posizione dei condensatori varia automaticamente in funzione delle caratteristiche d’impedenza del carico
Funzionamento Misto: in cui è possibile mantenere uno dei due condensatori in funzionamento manuale mentre l’altro in funzionamento automatico.

l secondo metodo è completamente automatico pertanto, se viene selezionato, quando la rete di adattamento rileva un segnale a radiofrequenza al suo interno, cercherà automaticamente il punto di lavoro ottimale al fine di ottenere il massimo trasferimento di potenza da generatore RF a carico e non necessita della presenza fissa dell’operatore.

Le reti di adattamento della serie GGK‑AM1 sono composte da un involucro realizzato in alluminio, al cui interno vengono alloggiati:

I circuiti di condizionamento del segnale RF
I circuiti di interfacciamento con unità esterne, con il connettore e le spie identificative dello stato del dispositivo
I motorini necessari per il movimento dei condensatori

Il dispositivo è molto versatile, in quanto consente l’adattamento di un ampio range d’impedenze di carico, semplicemente cambiando i valori assoluti dei suoi elementi costitutivi (Condensatori e induttore) per mezzo di appositi “Pad” posti al suo interno.

Caratteristiche del prodotto

Dimensioni compatte
Controllo del funzionamento semplice
Bassi costi di gestione
Architettura flessibile che consente l’adattamento di un ampio range di impedenzeProcessi estremamente ripetibili
Interfaccia utente che fornisce le principali informazioni (posizione dei condensatori, DC-Bias…)
Progettata per funzionare su sistemi basati su segnali RF a 13,56 MHz

Specifiche Tecniche
Dimensioni	L x P x A – Footprint	279 x 400 x 112 mm
	Peso Netto	5 Kg
	Distanze di rispetto	Destra, Sinistra – 100 mm, Retro, Fronte – 200 mm
Servizi	Connettore RF ingresso	Tipo N femmina
	Connettore RF uscita	Tipo 7/16” femmina (opzionale: barra di rame per connessione diretta al carico)
	Connettore interfaccia	DB25 socket
Interfaccia di controllo	Alimentazione	24Vdc, 1 A max (Fuse protected T2A)
	Segnali Analogici I/O	0-10 Vmax
	Segnali Digitali I/O	24 Vdc – ingressi forniti di isolatore ottico
Circuito di adattamento	Tipo di rete	“L” (opzionale: altre configurazioni su richiesta)
Circuito di adattamento	Modalità di funzionamento	Automatica / manuale / Automatica su singolo canale
Segnale RF	Potenza massima	600W
	Frequenza	13,56 MHz
	Tensione Max di catodo	2000 Vac
	Corrente DC Max di catodo	10A RF
Compliance	International	CE Marked

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