ALIMENTATORE AC 50 KHZ

Sorgente plasma AC mod.GGK-LF 500

Si tratta di una sorgente AC con frequenza di 50Khz per plasma, a basso costo e molto compatta. Il sistema fornito include il trasformatore di adattamanto con 3 prese intermedie selezionabili dall’utente ed una completa circuitazione di misura.
L’alimentatore è disponibile in due versioni, la prima con display ed unità di controllo integrata, la seconda versione è nella versione black box ideale per chi voglia controllare l’alimentatore via PC o PLC, per questa versione è anche diponibile il controllore remoto GGK LF/RF.
Il sistema fornisce 500 watt@50 Khz, ed e’ possibile l’adattamento di impedenza da 150 a 2500ohm, selezionando una delle 3 possibili configurazioni per il trasformatore di uscita.

Applicazioni tipiche:

Glow discharge.(in sostituzione dei convenzionali sistemi in DC)
Processi di deposizione PECVD.
Alimentazione di piccoli catodi Sputtering.
Sorgente di BIAS in sistemi ICP.
processi di cleaning ed attivazione in plasma

In alcune applicazioni, questo generatore costituisce un’alternativa ai sistemi RF, con costi sensibilmente inferiori e con minori problemi di messa a punto. Il comando ed il controllo avvengono attraverso una user port analogica completa e flessibile.

Prestazioni e benefici:

Estrememente compatto : mm 340 P x120 H x 180 L peso Kg2.
Connessione diretta all’elettrodo,nessun adattatore di impedenza necessario.
l’erogazione della potenza nominale (500 Watt) e’ garantita in un range di impedenza di 3:1 senza intervenire sulle prese del trasformatore.
Sistema di misura dei parametri elettrici del plasma integrato: ritrasmissioni di Vrms, Dcbias ,potenza attiva.
Possibilta’ di effettuare la regolazione in potenza o tensione RMS.
Ampio range di impedenza, carichi adattabili da 200 a 2000 ohm.
Eliminati i problemi di archi tipici della DC
Rendimento di conversione elevato > 90%,non necessita di raffreddamento forzato
Circuito arc detector attivo, spegnimento istantaneo degli archi

Specifiche elettriche

Alimentazione 230V monofase @ 4Amp,assorbimento massimo 550Watt
User port analogica,scaling segnali 0-10V,comandi 24V,interfacciamento diretto con PLC
Connettore di uscita Molex HV , fornito di cavo per la connessione all’elettrodo.
Precisione letture : Tensione 5% , potenza 7% ,DC bias 5%.
Protezioni da :sovracorrente,archi,sovratemperatura,limite di potenza

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