ALIMENTATORE RF 13,56 MHZ
GGK-RF15 Generatore RF 200Wat@13.56Mhz.
Generatore per applicazioni in plasma frequenza ISM 13.56Mhz potenza da 0 a 200Watts. Il modello GGK-RF15 e’ il piu’ compatto e affidabile generatore sul mercato per il suo range; viene offerto ad un prezzo di sicuro interesse. I processi in cui il sistema puo’ essere utilizzato sono:
- Trattamenti in plasma come modifiche superficiali,attivazioni e pre-cleaning
- Alimentazione di piccoli catodi sputtering
- Processi di deposizione assistita da plasma PECVD
- Processi di reactive ION etching Il generatore RF15 è stato progettato per un untilizzo in piccoli sistemi di trattamento in plasma e, date le dimensioni estemamente compatte, puo’ essere montato direttamante a bordo camera.
L’elevato grado di affidabilita’ e compattezza è assicurato dalla selezione di componenti di ultima generazione effettuata in fase progettuale. Ne risulta un apparato composto da un numero limitato di parti e la quasi totale mancanza di cablaggio interno.